科学研究

传感材料与智能微系统研究室

传感材料与智能微系统研究室

传感材料与智能微系统研究室(浙江省智能传感材料与芯片集成技术重点实验室)以服务国家和浙江省数字经济发展战略重大需求,突破高端智能传感芯片“卡脖子”关键技术、“硬骨头”重大科学问题为导向,重点围绕智能传感材料与微型元器件、智能传感芯片与制造、智能传感系统与传感网络、“非硅基”微纳集成技术与装备四个研究方向。实验室设有薄膜信息材料规模制备、快速微电子加工以及极端环境材料与器件服役性能评价等三大科研平台,具备开展贯穿材料-器件-制造-服役评价的全链条研发能力。

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