传感材料与智能微系统研究室(浙江省智能传感材料与芯片集成技术重点实验室)以服务国家和浙江省数字经济发展战略重大需求,突破高端智能传感芯片“卡脖子”关键技术、“硬骨头”重大科学问题为导向,重点围绕智能传感材料与微型元器件、智能传感芯片与制造、智能传感系统与传感网络、“非硅基”微纳集成技术与装备四个研究方向。实验室设有薄膜信息材料规模制备、快速微电子加工以及极端环境材料与器件服役性能评价等三大科研平台,具备开展贯穿材料-器件-制造-服役评价的全链条研发能力。
团队现有科研人员120余人,包括院士1人,杰青和长江学者4人,中组部青年拔尖人才5人,国家高层次人才特殊支持计划科技创新领军人才1人,博士占比82.5%。
智能传感材料与微型元器件、智能传感芯片设计与制造、智能传感系统与传感网络、“非硅基”微纳集成技术与装备
实验室牵头承担了国家级、省部级重大科技专项项目10余项,在功能膜材料、自供电技术、热管理系统和传感器件与系统等多个领域获得了诸多原创成果,实现了相关领域关键共性技术的突破,并与省内外相关企业建立了长期合作关系。